一、干式真空泵的定义

干式真空泵的定义有几个限制条件：（1）在泵的整个抽气的通道内，不能有任何的油、水等液体，即所谓的“干”，所以油封式真空泵、液环式真空泵都不属于干式真空泵。（2）泵的排气口与大气相通，能够连续向大气排气，即在高真空系统干式真空泵多作为前级泵使用，所以像分子泵、离子泵也不是干式真空泵。（3）能够在大气压到10-2帕工作的真空泵，即要求干式真空泵能够具备抽到粗、中真空的抽气能力。干式真空泵按照抽气原理可以分为干式容积真空泵和动量传输真空泵。干式容积式真空泵包括爪型泵、螺杆泵、涡旋泵、多级活塞泵、多级罗茨泵等。动量传输式真空泵包括离心干式泵、涡轮干式泵等。

 

二、干式真空泵的应用领域

干式真空泵以其洁净无油的特点受到越来越多行业的青睐。随着半导体集成电路的发展，芯片集成度越来越高、体积越来越小、刻蚀宽度早已进入纳米级，对油污，灰尘相当敏感，干式真空泵成而成为其不二的选择。在食品药品领域，人们对食品药品的品质要求越来越高，好品质的食品药品在市场中越来越受欢迎，因此国内的食品药品领域也越来越多的选用干式真空泵代替原有的油封式真空泵、水环式真空泵等。真空镀膜行业，干式真空泵能够保证洁净的真空，得到更好的镀膜质量。测试仪器方面，如电子显微镜、放疗设备等需要真空环境，而随着人们对实验室环境健康要求越来越高，干式真空泵的优势十分明显。综上干式真空泵的应用可归纳为以下几个方面：

 

（1）半导体、集成电路行业。

 

（2）食品、药品加工行业。

 

（3）金属非金属材料、真空镀膜行业。

 

（4）需要真空环境的仪器、研究领域。

 

（5）航空、物理、航天领域。