真空技术始于十六世纪四十年代意大利的物理学家托里拆利所做的一个实验---托里拆利实验。他将一根一端封闭的长玻璃管灌满汞并倒立于汞槽中时，发现管中汞面下降，水银柱可保持高达760mm的高度。在1654年，他在马德堡进行了著名的马德堡半球试验，使得人们对大气压力这个概念有了更新的认识。在英国工业革命成功后，生产力和科学实验发展推动了真空技术的发展，引来很多学者开始研究在低气压环境中发生的现象，工程师们也不断发明创造出各式各样的抽气设备。从物理学上来讲，真空泛指一个容器中的气体被全部或者部分抽掉，形成的低气压状态小于地面的大气压。

 

时代在进步，技术在发展，真空技术也有蓬勃发展的势头，各种真空产品的应用越来越普及，如航空航天、表面处理、化工、半导体、光学通讯设备、微纳加工、真空镀膜等产业。各行各业针对本行业实际所需的真空环境也提出了更高的要求，如清洁、环保、无污染、更高的效率、更轻便、免维护等。

 

近年来，随着光伏产业、精细化工、半导体等行业的快速发展，对真空系统的要求较以往更为严格，例如被抽系统要求真空系统在工作过程中无返流，化工行业中，要求真空设备将污染性气体以及具有腐蚀性作用的气体收集起来，对于这些严格的要求，干式真空泵的作用将会越来越明显。自从研制出干式真空泵以来，国外一些真空企业和科研院所设计开发了多种类型的干式真空泵，如螺杆型干式真空泵、爪型干式真空泵、罗茨干式真空泵等。据统计，干式真空泵已经占据全球真空泵市场的半壁江山，市场份额在所有真空泵类型中稳居第一位，但是受国内行情的限制，国内干式真空泵的使用率还未达到1%，推广空间还很大。