水环真空泵机组,2BV/佶缔纳士真空泵

服务热线:0577-67926633
  • 联系人:吉先生
  • 手 机:13780163115
  • 电   话:0577-67926633
  • 传 真:0577-56994576 
  • E-mail: jdnszbk@163.com
  • 网 址:www.gdnashvacuum.com
  • 地 址:浙江温州吉帝工业区

新闻中心

您的位置:网站首页 > 新闻中心 >

真空泵在电子半导体行业的应用

发布时间:2021-07-06 16:51 来源:admin
也许,你在想真空泵厂家会如何演说这一个应用。其实,很简单啊,根据行业进行追溯。首先,我们知道:电子半导体行业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域。
 
根据行业追溯后,整理电子半导体行业所需应用主要分为三大类:生产用真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵。
 
生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大,单机功率较小。
 
清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机,因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机,真空源是其系统的一部分。
 
工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中常见的真空设备。